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子装减震暂时还不到这一步。”
王中军若有所思，沉吟着说道：“不过，这确实是一条路子。”
正常的科研计划，当然是要考虑经济效益的，需要循序渐进来逐渐将一项技术发展成熟，然后再进行下一代技术的研发。
谁都知道碳化硅、氮化镓这些材料比硅晶圆的性能更好，但半导体产业还不是在吃单晶硅这条路线，还不知道要吃到哪一年去呢。
不把单晶硅的潜力挖光、不在经济上无利可图，产业界怎么有动力去更新换代？
但问题是，如今摆在王中军面前的并不是一个正常的研发项目。
微纳米级的纳米光栅，不仅时间紧、任务重，而且还关系到国家战略。就是在这个时候，我们才有一个优势，可以不去讲所谓的经济规律，去拼尽全力的做一件事。
在这一代中国人心中，时代的使命感仍然充满了崇高的精神。
成本，并不应该在王中军这个项目的考虑之中。
“我们必须推翻目前的技术路径，蚀刻法的加工精度是无法满足需求的。我们必须要有更高的加工能力，必须跳出目前的半导体加工思路……”
“更高加工能力……原子力显微镜怎么样？”
王中军的自言自语，让所有人都有些目瞪口呆。
“主任，你想怎么用原子力显微镜？那个咱们所一共也没几台，所长宝贝着呢！”
原子力显微镜在九十年代的中国确实是个稀罕玩意，不仅贵而且还不好买。实验室里要是有一台，就好像学校里开的机房一样，恨不得拿白布好好罩起来，谁也别用。
而且国内对原子力显微镜的应用还处于摸索阶段，属于那种拿它随便扫描一片树叶，都能到期刊上发一篇论文。
这么宝贝的设备，就怕王中军狮子大开口，占用了其他实验室的份额。
“原子力显微镜有三种操作方式，分别是非接触式、接触式和轻敲模式。”王中军的眼神忽然明亮起来，笑容中多了一些自信：“如果我们将轻敲模式的进程设定为负数，其实它的探针完全可以在材料上进行极为精细的加工啊！”
“可是……”
下面有人情不自禁的摇头：“这样一来，那探针也废了吧？”
原子力显微镜的原理并不复杂，就是用一根针头去“摸”出一幅图像来。针头可以和操作对象接触、不接触或者接触之后迅速离开——也就是轻敲模式。
当针头与被扫描物体接触，就会有多种力在这个过程中产生影响。通过对这些数据的计算，就能得到扫描的图像了。
可想而知，这样的探针必然是非常脆弱。像半导体所这样主要观测硬质材料，大多数时候使用的都是非接触模式，即使如此还经常会因为碰到材料突起导致探针损坏。只有观测生物材料等软质材料的时候，才会使用接触扫描。
正常使用中如果有谁敢把探针进程设置为负数，那他这辈子都别想进实验室的大门了。
“不对，IBM前几年就用原子力显微镜操作过单个原子，所以这个路线应该是可行的。”
“IBM只是刻了三个字母，我们要刻几百条光栅线，探针不知道要用掉多少，这成本差别也太大了！”下面的研究员听的都快要疯了，这种实验设想如果被所长知道，光栅实验室非得做一辈子冷板凳吧！
“探针？一个探针大概是两百美元，如果我们用进口探针，那确实太贵了。”
“但这个设想的难点不在成本，而是花钱也没有现成的探针可以用。为了在单晶硅上刻画光栅，我们需要硅探针，这样在刻痕的过程中才不至于污染材料。同样我们也需要分辨率更高、更容易被去除杂质的针头，硅材料很难做到我们需要的分辨率精度，此外还需要新的刻蚀方法……”
想到这里，王中军不仅没有着急，反而是松了一口气。
做科研不怕累、不怕浪费脑细胞，只怕找不到前进的方向。
当找到这个思路之后，他的脑海里迅速将这条路径需要解决的问题大致的列了一遍。问题不少、而且不小，但是，肯定有实现的可能！
就像刘慈欣在《朝闻道》里说的那样，相比于人类意识到宇宙存在所用的时间，人类从牛顿到诞生出爱因斯坦不过是一瞬间而已。
“如果说那个原始人对宇宙的几分钟凝视是看到了一颗宝石，其后你们所谓的整个人类文明，不过是弯腰去拾它罢了。”